Область применения- Выращивание кристаллов

Выращивание кристаллов

Выращивание кристаллов

Фирма Linn High Therm изготавливает установки для выращивания кристаллов полупроводников смешанного типа III/V, как например, арсенида галлия и фосфида индия. Установки оснащены многозональными нагревателями и работают согласно методу VGF (метод вертикальной направленной кристаллизации). Размеры диаметра могут достигать 6 дюймов.

Для производства монокристалла карбида кремния используют сублимационные реакторы с индукционным нагревом фирмы Linn High Therm. Возможно производство кристалла диаметром до 4 дюймов.

На основе стандартных и специальных печей серии FRV/FRH фирма Linn High Therm производит установки для направленной кристаллизации согласно методу Стокбаргера-Бриджмена.

Крупные установки с индукционным нагревом фирмы Linn High Therm используют для направленной кристаллизации цветных металлов, а также для зонной очистки германия.

 

Стандартные печи

Печь серии FRH/FRV

Трубчатая печь серии FRH / FRV, изолированная волокном, высокотемпературная, газоплотная и/или вакуумплотная, внутреннийØ 25 - 150 мм, длина нагрева 150 - 1000 мм, максимальная температура 1800 °C.

Больше

Печи серии HT

Камерная печь, изолированная волокном, высокотемпературная, газоплотная, максимальная температура 2100 °C, полезный объем 3-52,5 л.

Больше

Печи серии HT-Vac

Камерные печи, высокотемпературные, изолированные волокном, газоплотные и вакуумплотные, максимальная температура 1950 °C, полезный объем 4 - 52,5 л.

Больше

Печь серии HTG-N

Высокочастотный генератор, 1,2 - 10 квт, 150 - 400 кгц

Больше

Печь серии MFG

Среднечастотный генератор, 10 квт – 1мвт, 5 - 100 кгц

Больше

Специальные печи

Печь серии FRV-5-40/550/1900

Печь Бриджмена для направленной кристаллизации

Больше

Печь серии FRV-8-110/640/1500

Печь VGF для выращивания 4” GaAs монокристалла

Больше

Печь серии IT-GRV-330/350/2300

Реактор для выращивания 4” монокристалла карбида кремния благодаря сублимационному росту

Больше

Установки, бывшие в эксплуатации

Used Equipment - HFG-100-R/300-800 kHz

High frequency generator, electron tube type, 300-800 kHz, 100 kW

Больше