Anwendungen- Oberflächenbeschichtung

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Oberflächenbeschichtung

Oberflächenbeschichtung

Anlagen von LHT werden zum Erzeugen verschiedenster Beschichtungen verwendet. Sie dienen als Verdampfungsaggregat oder zum Vorheizen des Substrats.

Hochfrequenz-Generatoren der Baureihe HTG werden zum induktiven Beheizen von Verdampferschiffchen für verschiedenste Materialien verwendet. Die Hochfrequenzerwärmung im Kaltwandtiegel ermöglicht auch das Verdampfen von Substanzen bei Temperaturen über 3000 °C.

Für die Entwicklung von metallorganischen Verbindungen für die Substratbeschichtung werden Trockenschränke in Kombination mit HF-Generatoren eingesetzt. Dabei wird das Substrat in einem Quarzrohr über einen aussenliegenden Induktor erwärmt. Quarzrohr, Substrat und Induktor befinden sich innerhalb des Trockenschranks. Dieser dient dazu, die Metallorganik gezielt zu verdampfen und das Quarzrohr zu erwärmen, um eine vorzeitige Kondensation zu verhindern.

Öfen der Baureihe KS-S in Sondergröße bis 4m³ dienen zum Beschichten von Glasscheiben für Solaranwendungen. Dabei wird durch eine gezielte Gasführung und einen außenliegenden Verdampfungs- und Kondensationsbereich die Beschichtung gezielt gesteuert und das Beschichtungsmaterial zurückgewonnen.

Rohröfen der Baureihe FRV und FRH dienen als Heizer für CVD-Anlagen zur Schichterzeugung und Volumenabscheidung von pyrolytischem Kohlenstoff.